光刻设备是制造芯片的核心装备,它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。受益于下游需求旺盛,光刻设备有望量价齐升带动市场空间不断增长。

全球光刻设备市场被 ASML(荷兰阿斯麦)、Canon(日本佳能)和Nikon(日本尼康)三家供应商包揽,尤其高端光刻设备被荷兰 ASML 厂商所垄断,ASML在EUV领域占比高达100%。2022年前三家厂商市场占比合计约为82.4%,其中ASML占比最多,达65.4%。Canon占比8.6%、Nikon占比8.4%。
市场销量分析
受益于下游晶圆的巨大需求、服务器云计算和5G基础建设的发展,带动相关芯片的需求,光刻设备销售额与销量稳步提升。数据显示,2015-2021年,全球光刻设备销售量总体增长,2021年达413台,同比增长16.7%。2022年全球光刻设备销量约450台,预计在2023年全球光刻设备销售量有望突破500台。
销量结构分析
光刻设备随着光刻技术的更迭,从最初的g-line,i-line历经KrF、ArF发展到了如今的EUV。目前全球光刻设备销量仍以中低端产品(KrF、i-Line)为主,合计达264台,占比约65%;其次分别为ArF immersio、Arf dry、EUV,占比分别为19%、8%及8%。
营业收入分析
截止至2022年,全球TOP3企业阿斯麦、尼康、佳能的总营收达到1070亿元左右,同比2021年增长9%左右,其中阿斯麦占比超过八成。主要增长动力来源于EUV出货带动,随着下游集成电路需求持续复杂和精细,工艺制程愈加接近极限,高端光刻设备需求将持续扩张,带动整体光刻设备营收上升。数据显示,2022年阿斯麦营收来源中中国超百亿元,与国内晶圆产能扩张符合。
竞争格局分析
从TOP3企业的竞争格局看,当前荷兰ASML公司占比达62%,出货量约260台,远高于尼康和佳能,尼康和佳能市场销量占全球总销售量的7%和30%。从销售额看,ASML仍然占据市场龙头地位,市场份额高达91%,佳能和尼康占比为6%和3%。
光刻设备被业界誉为集成电路产业皇冠上的明珠,研发的技术门槛和资金门槛非常高。也正是因此,能生产高端光刻机的厂商非常少,到最先进的14nm光刻机就只剩下ASML,日本佳能和尼康已经基本放弃第六代EUV光刻机的研发。
综合来看,全球生产光刻设备的企业并不多,国内光刻设备市场基本被国外光刻设备企业所占据。我国光刻设备行业发展还有很大的进步空间。



